氦质谱检漏仪的操作方法主要包括开机检查、校准、检漏和关机四个步骤，具体流程如下：
1. 开机检查
连接电源：接通电源并打开开关，仪器进行自检（约2分钟）
检查密封性：确认检漏口密封（使用堵头堵严），检查电磁阀状态（如V1、V3、V4）
真空度达标：确保分子泵真空度≤5×10⁻⁴ Pa，检漏口压力<1000 Pa
2. 校准
内部校准：
点击菜单栏【校准】→【校准设置】，设置内部标准漏孔漏率后启动校准，等待自动完成并记录校准系数
外部校准：
连接外部标准漏孔，在【校准设置】中输入漏率值（如2.1×10⁻⁸ Pa·m³/s），启动校准后根据提示操作，确认校准系数
3. 检漏操作
喷氦法（常用）：
将被检工件连接至检漏口，抽真空至压力≤10 Pa（或40 Pa以下），用氦气喷枪在可疑区域喷氦3秒，仪器显示的漏率突增点即为漏点
背压法（复杂零件）：
将工件浸泡于0.2 MPa氦气中4小时，再放入检漏盒测量总漏率
吸枪法（大面积扫描）：
用吸枪探头缓慢扫描工件表面，实时监测漏率变化
4. 关机与维护
结束检漏：关闭手动挡板阀，点击【停止】并长按【破空】键，待仪器自动放气后关闭电源
日常维护：
每日检查机械泵油位，每月更换分子泵润滑油
定期清理存储空间，校准偏差超过5%需重新标定
注意事项
安全距离：氮气设备需离人≥2米，环境湿度<60%
分子泵保护：关闭电源前需先关V2阀，待转速<2000转/分钟
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